سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ: الٹرا - ویفر فیب ٹولز کے لئے خالص تقاضے

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ: کیوں الٹرا - خالص تقاضے ویفر فیب ٹولز بناتے ہیں یا توڑ دیتے ہیں

سیمیکمڈکٹر تانے بانے سے واقف کوئی بھی کمال کے لاتعداد حصول کو سمجھتا ہے۔ یہاں تک کہ ایک مائکروسکوپک آلودگی بھی ویفروں کے ایک پورے بیچ کو برباد کر سکتی ہے ، جس کی وجہ سے تباہ کن پیداوار میں کمی واقع ہوسکتی ہے۔ خطرے کا ایک عام ، لیکن اہم ، نقطہ بہت ہی سامان میں ہے جو عمل کے دل کو کنٹرول کرتا ہے: درجہ حرارت۔ یہ وہ جگہ ہے جہاں شائستہ ہےتھرموکوپلایک سادہ سینسر سے مشن کے ایک جزو میں منتقلی - اہم اہمیت۔

الٹرا - میں ویفر فیب کا خالص ماحول ، ہر مادی انتخاب سے اہمیت کا حامل ہے۔ معیاری صنعتیتھرموکوپلساور ان سے وابستہ مٹھانے والا مواد آلودگی کے غیر ارادتا ذریعہ بن سکتا ہے۔ ان اجزاء سے آؤٹ گاسنگ ، ذرہ بہاو ، یا دھات آئن کی منتقلی ویفروں یا زہر حساس چیمبر ماحول میں جمع کر سکتی ہے۔ چیلنج دوگنا ہے: مطلق مادی مطابقت اور صفائی ستھرائی کی ضمانت دیتے ہوئے عین مطابق ، قابل اعتماد درجہ حرارت کی پیمائش کا حصول۔

سب نہیںتھرموکوپلساس کام کے لئے برابر بنائے گئے ہیں۔ اگرچہ سیبیک اثر کے ذریعہ درجہ حرارت کی پیمائش کرنے کا بنیادی اصول باقی ہے ، لیکن ان کی تعمیر ہی ان کو الگ کرتی ہے۔ دھات کی میانوں والی عام صنعتی اقسام (جیسے سٹینلیس سٹیل) عام عمل کے چیمبروں کے لئے عام طور پر نا مناسب ہیں۔ اس کے بجائے ، فیب - گریڈ سینسر اکثر اعلی - طہارت کے مواد کو استعمال کرتے ہیں جیسے انتہائی جارحانہ ماحول کے لئے ماضی کی سطحوں ، انکونیل ، یا یہاں تک کہ سیرامک ​​میانوں (جیسے ایلومینا کی طرح) کے ساتھ سٹینلیس سٹیل کے مخصوص درجات۔ انتخاب اس عمل پر بہت زیادہ انحصار کرتا ہے: ایک بازی بھٹی ، ایک ایپیٹیکسیل ری ایکٹر ، یا پلازما اینچ چیمبر ہر ایک درجہ حرارت کی انوکھی حدود اور کیمیائی نمائش پیش کرتا ہے۔

صنعت کے تجربے کی بنیاد پر ، یہاں انتخاب اور انتظام کے لئے کلیدی تحفظات اور عملی مشورے ہیںتھرموکوپلساس طرح کے مطالبہ کی ترتیبات میں:

مادی مطابقت سب سے اہم ہے:میان کا مواد عمل گیسوں اور درجہ حرارت کے عمل سے جڑ کا ہونا ضروری ہے۔ مثال کے طور پر ، aتھرموکوپلایک اعلی - درجہ حرارت آکسیکرن ٹیوب میں آکسیکرن کے خلاف مزاحمت کرنا چاہئے اور سلیکن کی کھپت کو کم سے کم کرنا چاہئے۔ ٹول OEM اور سینسر اسپیشلسٹ دونوں سے مشاورت غیر - قابل تبادلہ ہے۔

"صاف" ڈیزائن پر توجہ دیں:کے لئے دیکھوتھرموکوپلسخاص طور پر سیمیکمڈکٹر ایپلی کیشنز کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ خصوصیات میں پارٹیکل ٹریپس کو کم سے کم کرنے کے لئے ہموار ، الیکٹروپولڈ ویلڈس ، اندرونی آؤٹ گیسنگ کو روکنے کے لئے ہرمیٹک مہریں ، اور الٹرا - اعلی طہارت معدنیات کی موصلیت کا استعمال شامل ہیں۔

انشانکن اور ٹریسیبلٹی:باقاعدہ ، ٹریس ایبل انشانکن ایک بہترین عمل سے زیادہ ہے۔ یہ ایک ضرورت ہے۔ بہاؤ میںتھرموکوپلریڈنگ براہ راست بڑھنے کے عمل میں براہ راست ترجمہ کرسکتی ہے۔ سخت انشانکن شیڈول کو برقرار رکھنے سے یہ یقینی بناتا ہے کہ پورے فیب میں ہدایت مستقل مزاجی اور آلے کے ملاپ کو یقینی بنایا جائے۔

تنصیب اور ہینڈلنگ:یہاں تک کہ بہترینتھرموکوپلاگر غلط طریقے سے سنبھالا جائے تو وہ آلودہ بن سکتا ہے۔ میان کو کھرچنے یا آلودگی سے بچنے کے ل proper مناسب ٹولز کا استعمال کرتے ہوئے ، کلین روم پروٹوکول کے ساتھ تنصیب کی جانی چاہئے۔

آخر کار ، بنیادی سفارش یہ ہے کہ درجہ حرارت کی سینس کو عام جزو کے طور پر نہیں ، بلکہ عمل کٹ کے لازمی حصے کے طور پر دیکھنا ہے۔تھرموکوپلچیمبر لائنر یا گیس کی ترسیل کے نظام کی طرح اسی سختی کے ساتھ بیان کرنا ضروری ہے۔ اس کی پاکیزگی یا تصریح پر سمجھوتہ کرنے سے براہ راست مصنوعات کی پیداوار کا خطرہ ہوتا ہے۔

کامیابی کے ساتھ ان الٹرا - خالص تقاضے اکثر - - شیلف حلوں سے آگے بڑھنے پر منحصر رہتے ہیں۔ بالکل اسی طرح جس طرح سیمیکمڈکٹر کے مختلف عمل - MEMS سے ایڈوانسڈ لاجک نوڈس - مطالبہ کے مطابق نقطہ نظر کی طلب کریں ، معاون آلہ کار ، جس میں درجہ حرارت کی احساس سمیت ، ایک خصوصی ڈیزائن فلسفہ کی ضرورت ہے۔ زیادہ سے زیادہ کارکردگی اس وقت حاصل کی جاتی ہے جب سینسر کے انتخاب اور انضمام کو ایک خصوصی فیلڈ کے طور پر سمجھا جاتا ہے ، جو ہر مخصوص ٹول اور عمل کے مرحلے کے منفرد تھرمل اور آلودگی کنٹرول کے تقاضوں کے ساتھ بالکل سیدھ میں رہتا ہے۔