الیکٹرک ہیٹنگ ٹیوب ٹرائیوڈ سپٹرنگ

الیکٹرک ہیٹنگ ٹیوب ٹرائیوڈ سپٹرنگ

ٹرپولر سپٹرنگ ایک الیکٹروڈ کا اضافہ ہے - ایک ہاٹ کیتھوڈ - بائی پولر سپٹرنگ کے آلے میں، جو گرم الیکٹران خارج کرتا ہے۔ برقی میدان کی کشش کے تحت، گرم الیکٹران پلازما کے علاقے سے ہدف اور بیس الیکٹروڈ کے درمیان سے گزرتے ہیں، جس سے گرم الیکٹرانوں کے اخراج کو تقویت ملتی ہے۔ یہ نہ صرف پھڑکنے کی شرح کو بہتر بنا سکتا ہے بلکہ تھوکنے والے حالات پر قابو پانے کو بھی آسان بنا سکتا ہے۔ موجودہ کثافت 1-3mA/cm2 تک بڑھ جاتی ہے، اور ہدف وولٹیج 1-2kV تک گر جاتا ہے۔ گرم کیتھوڈ منفی تعصب وولٹیج کا 0-50v۔ اس طرح، سپٹرنگ کی شرح میں اضافہ ہوا ہے، اور کوٹنگ کے معیار میں اضافہ جمع ویکیوم کی وجہ سے بہتر ہے.

کواڈرپول سپٹرنگ

ٹرائیوڈ سپٹرنگ کی بنیاد پر، کوٹنگ روم کے باہر ایک اضافی بنچنگ کوائل، جسے معاون اینوڈ یا مستحکم الیکٹروڈ بھی کہا جاتا ہے، شامل کیا جاتا ہے۔ بنچنگ کوائل کا کام ٹارگٹ کیتھوڈ اور سبسٹریٹ انوڈ کے درمیان الیکٹران کو اکٹھا کرنا ہے، ان کے درمیان کم وولٹیج اور ہائی کرنٹ پلازما آرک کالم بنتا ہے۔ بڑی تعداد میں الیکٹران گیس سے ٹکراتے ہیں اور آئنائز کرتے ہیں، جس سے بڑی تعداد میں آئن پیدا ہوتے ہیں۔ الیکٹرانوں کی سرپل حرکت الیکٹران جمع کرنے والے تک پہنچنے کے فاصلے کو بڑھاتی ہے، اس طرح تصادم کے آئنائزیشن کا امکان بڑھتا ہے، موجودہ کثافت 2-5mA/cm2 کے ساتھ۔ اس کے علاوہ، بنچنگ کوائل بھی خارج ہونے والے مادہ کو مستحکم کرنے میں اپنا کردار ادا کرتی ہے۔

پھٹنے کا یہ طریقہ اب بھی ہدف کے ذریعے پیدا ہونے والے تیز رفتار الیکٹرانوں کے ذریعے سبسٹریٹ کی بمباری کو نہیں دبا سکتا، اور فلیمینٹ میں نجاست کی وجہ سے فلم کی تہہ کے فولنگ جیسے مسائل بھی ہیں۔

آر ایف پھٹنا

1960 کی دہائی میں، ریڈیو فریکوئنسی گلو ڈسچارج کا استعمال کنڈکٹرز سے لے کر انسولیٹر تک کسی بھی مواد کی پتلی فلمیں بنانے کے لیے کیا جاتا تھا، جو کہ تھوکنے کا ایک وسیع طریقہ تھا۔ ریڈیو فریکوئنسی سے مراد ریڈیو لہروں کی ترسیل کی حد کے اندر تعدد ہے۔ RF سپٹرنگ ایک ہائی فریکوئنسی پاور سپلائی کو ہدف کیتھوڈ سے جوڑنے کا عمل ہے۔ ریڈیو سٹیشن کے آپریشن میں مداخلت سے بچنے کے لیے، سپٹرنگ کے لیے وقف فریکوئنسی 13.56MHz پر سیٹ کی گئی ہے۔ اعلی تعدد دالوں کی کارروائی کے تحت، الیکٹران طویل فاصلے تک سفر کرنے کے لئے بنائے جاتے ہیں

علیحدگی کی حرکت گیس کے ایٹموں کے ساتھ مزید تصادم کا باعث بنتی ہے۔ اس طرح، گیس کو زیادہ مکمل طور پر آئنائز کیا جا سکتا ہے، اس طرح پھٹنے کے اثر کو بہتر بنایا جا سکتا ہے۔ ریڈیو فریکوئنسی پاور سورس سے متبادل الیکٹرک فیلڈ کی کارروائی کے تحت، گیس میں الیکٹران گیس کو پلازما میں دوہراتے اور آئنائز کرتے ہیں۔ RF سپٹرنگ کا نقصان یہ ہے کہ زیادہ طاقت والی RF پاور سپلائی نہ صرف مہنگی ہے بلکہ ذاتی تحفظ کے لیے بھی ایک مسئلہ ہے۔ لہذا، RF sputtering صنعتی پیداوار ایپلی کیشنز کے لئے موزوں نہیں ہے.

www.superbheater.com